旋片式真空泵是一種容積式機械真空泵,依靠泵腔內旋片的旋轉運動改變腔室容積,實現氣體的吸入、壓縮和排出,可獲得粗真空或低真空,廣泛應用於工業生產、科研實驗等領域。

旋片式真空泵的核心部件是泵體、偏心轉子和旋片,其工作過程分為三個階段:
吸氣階段:偏心轉子旋轉,帶動旋片沿泵體內壁滑動,轉子與泵體之間的空間逐漸增大,形成負壓,被抽容器內的氣體通過進氣口吸入該空間。
壓縮階段:轉子繼續旋轉,旋片隨轉子運動,吸入的氣體被封閉在轉子、旋片與泵體之間的腔室中,腔室容積逐漸縮小,氣體被壓縮,壓力升高。
排氣階段:當氣體壓力升高到足以推開排氣閥片時,壓縮後的氣體通過排氣口排出泵外。
為保證密封和潤滑,泵腔內會填充真空泵油,既起到密封間隙的作用,又能潤滑運動部件、帶走熱量。